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喷射 真空泵是利用文丘里效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输 泵。它分为水喷射 真空泵、蒸汽喷射 真空泵、汽水串联喷射 真空泵、汽水组合喷射 真空泵。喷射 真空泵以其 真空度范围广，可以直接抽吸水蒸汽等可凝性气体和带有颗粒状的介质，结构简单，操作方便，无运转部件维修量小，节能降耗等优点越来越广泛的应用在化工操作的各工艺中。

简介　　分子 真空泵是在1911年由德国人盖德(w·Gaede)首先发明的，并阐述了分子 泵的抽气理论，使机械 真空泵在抽气机理上有了新的突破。分子 泵的抽气机理与容积式机械 泵靠 泵腔容积变化进行抽气的机理不同，分子 泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。因此，人们将盖德发明的分子 泵称为牵引分子 泵。结构特点　　 泵腔内有可旋转的转子，转子的四周带有沟槽并用挡板隔开。每一个沟槽就相当于一个单级分子 泵，后一级的入口与前一级的出口相连。转子与 泵壳之间有0.01mm的间隙。气体分子由入口进入 泵腔，被转子携带到出口侧，经排气管道由前级 泵抽走。牵引分子 泵的优点是起动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特别适于抽除较重的气体。但同于它自身的弱点：抽速小，密封间隙太小，工作可靠性较差，易出机械故障等，因此除特殊需要外，实际上很少应用。曾一度被结构和制造简单，抽速大的扩散 泵所代替。　　就是在油扩散 泵开始得到广泛应

关键词：水喷射 真空泵、新型高效蒸汽喷射 真空泵、汽水串联喷射 真空泵、汽水组合喷射 真空泵、化工工艺、应用。摘要：目前 真空技术越来越广泛的应用在石油、化工、制药等行业的减压蒸发、结晶、蒸馏、升华、干燥、负压浓缩、脱水、化学反应吸收及 真空输送物料等工艺，各种加工过程应用 真空技术后可以节能降耗、加快反应速度、提高产品质量、增加经济效益也逐步形成共识，但 真空技术是一门边缘科学，我国的 真空行业是在解放后消化吸收前苏联、美国、日本、德国产品的基础上发展起来的，虽然近几年我国的 真空设备制造厂的数量如雨后春笋般壮大起来，但不少厂家对于其生产的 真空泵在不同工艺如何应用选型却并不清楚（更谈不上根据用户提供的工艺参数进行新产品设计），这给广大用户的选型带来很大的不便，本文将根据我公司30多年的生产、研制和配套经验，阐述在化工行业几个典型工艺如何合理选用喷射 真空泵的问题。一、关于 真空泵的几个概念在化工生产的加工过程中如何应用好 真空泵，需要先明确以下几个概念：1、“ 真空”的概念：“ 真空”是指在给定 空间内低于一个大气压力的气体状态，也就是该 空间内气体分子密度低于该地区大

成都无极也来问这个问题哦！内行人哦。有许多种分法啊！干的、油的；比如：干式 真空泵、直连旋片 泵物理的、化学的；比如：分子筛吸附 泵、离子 泵传输型的、捕获型的；比如：分子 泵、低温 泵真空要求就是粗 真空（比如：水环 泵）；低 真空（比如：旋片 泵）；中 真空（比如：罗茨 泵）；高 真空（比如：分子 泵）；超高极高 真空（比如：离子 泵）。楼上的说的很清楚了。

无油干式机械 真空泵（又简称干式机械 泵）是指 泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去， 泵腔内无油或其他工作介质，而且 泵的极限压力与油封式 真空泵同等量级或者接近的机械 真空泵。目前， 真空行业使用的大多数机械 真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当 泵的工作介质，在 泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及 真空应用领域的扩大，原有的机械 真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是 泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使 真空泵内的介质严重变质，使 泵不能正常工作。对于普通的无油 真空系统来说，虽然可用油封式 真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械 真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械 真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入 泵油中，而希望微粒

油封式 真空泵工作原理用油来保持运动部件的密封、靠 泵腔容积变化而实现抽气的机械 真空泵统称油封式 真空泵。它们的工作原理都是使 泵腔工作室容积机械地增大和缩小而抽气。当 泵腔内工作室容积变得最小时，与 泵的入口管道连通，于是气体进入 泵吸入腔，一直到吸入腔容积最大并重新与进气口分开时为止。当容积减少时，气体被压缩，直到气体的压力大于一个大气压，排气阀被打开，将气体排出。用油作密封 泵液的必要性当前大量使用的机械 真空泵，即使设计得最好，相向运动的零件间配合精度即使很高。在 泵达到极限 真空时，也难以阻止气体由低 真空端向入口端“突破”返流。另外，由于 泵在设计制造及装配中不可避免地存在有害 空间，这也降低 泵的极限 真空度。油封式 真空泵就是用油将相向运动的零部件和排气阀零件间密封起来；将有害 空间充填，使得高压气体反“突破”的机会少得多，密封性能也就好得多，从而使 泵能达到较高的 真空度。油封式 真空泵的应用油封式 真空泵按照结构型式可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式四种。目前，油封式 真空泵是国内 真空获得技术中应用最广的一种 泵，它可单独用作低 真空设备的排气用 泵，也可用作高 真空

导读：炼提纯，高沸点的油脂蒸馏提纯分离，日光灯，保温瓶高 真空排气的仪器。工作原理：先由转动 真空泵把系统抽到10～2Pa扩散 泵油被加热沸腾,以高速从喷出的油蒸汽流不断将系统内气体分子带到 泵的侧臂弯管球泡处集结,待气体密度达到机械 真空泵的工作范围而被抽出,从而逐渐获得高 真空.　　2、水环式 真空泵/液环 真空泵工作原理　　水环 真空泵(简称水环 泵)是一种粗 真空泵，它所能获...2008年10月16日讯　　1、CG-17玻璃三级高 真空油扩散 泵及其工作原理　　GG-17玻璃膨胀系数低，能更好地耐受很高的温度差变，故该 泵比同型 泵能受得起高温而且使用寿命也更长。该 泵适用于电子工业，如电子管。显象管。X光管，以及半导体单晶硅的冶炼提纯，高沸点的油脂蒸馏提纯分离，日光灯，保温瓶高 真空排气的仪器。工作原理：先由转动 真空泵把系统抽到10～2Pa扩散 泵油被加热沸腾,以高速从喷出的油蒸汽流不断将系统内气体分子带到 泵的侧臂弯管球泡处集结,待气体密度达到机械 真空泵的工作范围而被抽出,从而逐渐获得高 真空.　　2、水环式 真空泵/液环 真空泵工作原理　　水环 真空泵(简称水环 泵)是一种粗 真空泵，它所能获得的极限 真空为2000～4

真空泵在安装时要注意的问题，希望对大家有一定的帮助：　　1、 真空泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认 真空泵转向符合规定方向方可投入使用，以防 真空泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向)　　2、对于有冷却水的 真空泵，按规定接通冷却水。　　3、如 真空泵口安装电磁阀时，阀与 真空泵应同时动作。　　4、当 真空泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。　　5、 真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围一定是广阔的场地　　6、 真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保 真空泵运转平稳，振动小。　　7、 真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小 真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小 真空泵可采用 真空胶管连接，管道管径不得小于 真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。　　8、在连接管路中，用户可在 真空泵进气口上方安装阀门及 真空计，随时可检查 真空泵的极限压力。　　9、按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。

2X型旋片式 真空泵（简称旋片 泵）工作压强范围为101325~1.33×10-2（Pa）属于低 真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高 真空泵或超高 真空泵的前级 泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。　　　　　　旋片 泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对 泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。　　　　　　旋片 泵是 真空技术中最基本的 真空获得设备之一。旋片 泵多为中小型 泵。旋片 泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级 泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的 真空度。　　　　　旋片 泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分别不得低于 泵的名义抽速的95%、50%和20%。本文关键字搜索：更多 泵产品信息

1、 真空泵的工作压强应该满足 真空设备的极限 真空及工作压强要求。如：某 真空干燥工艺要求10mmHg的工作 真空度，选用的 真空泵的极限 真空度至少要2mmHg，最好能达到1mmHg。通常选择 泵的极限 真空度要高于 真空设备工作 真空度半个到一个数量级。　　　2、正确地选择 真空泵的工作点。每种 泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环 真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内， 泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照 泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而， 泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。　　　3、 真空泵在其工作压强下，应能排走 真空设备工艺过程中产生的全部气体量。　　　4、正确地组合 真空泵。由于 真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种 泵不能满足抽气要求，需要几种 泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华 泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子 泵，（或二极型非对称阴极溅射离子 泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使 真空装置得到较好的 真空度。另外，有的 真空泵不能在大气压下工作，需要预 真空；

1、 真空泵的工作压强应该满足 真空设备的极限 真空及工作压强要求。如： 真空镀膜要求1×10-5mmHg的 真空度，选用的 真空泵的 真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择 泵的 真空度要高于 真空设备 真空度半个到一个数量级。2、正确地选择 真空泵的工作点。每种 泵都有一定的工作压强范围，如：扩散 泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内， 泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而， 泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华 泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。3、 真空泵在其工作压强下，应能排走 真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合 真空泵。由于 真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种 泵不能满足抽气要求，需要几种 泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华 泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子 泵，(或二极型非对称阴极溅射离子 泵)对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使 真空装置得到较好的 真空度。另外，有

选用 真空泵时，应注意的事项有以下几点：1、 真空泵的工作压强应该满足 真空设备的极限 真空及工作压强要求。如：某 真空干燥工艺要求10mmHg的工作 真空度，选用的 真空泵的极限 真空度至少要2mmHg，最好能达到1mmHg。通常选择 泵的极限 真空度要高于 真空设备工作 真空度半个到一个数量级。2、正确地选择 真空泵的工作点。每种 泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环 真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压)，在这样宽压强范围内， 泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照 泵的性能曲线)，其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而， 泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。3、 真空泵在其工作压强下，应能排走 真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合 真空泵。由于 真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种 泵不能满足抽气要求，需要几种 泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华 泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子 泵，(或二极型非对称阴极溅射离子 泵)对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使 真空装置得到较好的 真空度。另外，有的 真空泵不能在大气压

我们在复盛 空压机的使用过程中，经常会见到用到或者听到 真空泵的，那么什么是 真空泵？本文系浙江复盛 空压机整理原创，想看更多文章请搜索浙江复盛 空压机，转载时请保留此版权信息 真空泵，又名 真空抽气机，可以这么定义：凡是从设备中抽出气体，使设备内部达到 真空的机械，都是 真空泵真空泵的功能通过上面定义，相信大家已经了解了其作用，下面说明一下 真空泵的分类：从结构上 真空泵大致可分为：往复式 真空泵、回转式 真空泵和射流式 真空泵等。1、射流式 真空泵。射流式 真空泵是利用一种压力较高的工作流体来输送另一种流体。2、水环式 真空泵。水环式 真空泵是回转 真空泵的一种。3、往复式 真空泵。往复式 真空泵适用于抽送不含固体颗粒、无腐蚀性的气体。这种 真空泵的抽气速率较大， 真空度较高。故在化工厂中广泛应用。但其结构复杂，维修量大。

1、 真空泵的工作压强应该满足 真空设备的极限 真空及工作压强要求。如： 真空镀膜要求1×10-5mmHg的 真空度，选用的 真空泵的 真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择 泵的 真空度要高于 真空设备 真空度半个到一个数量级。2、正确地选择 真空泵的工作点。每种 泵都有一定的工作压强范围，如：扩散 泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内， 泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而， 泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。3、 真空泵在其工作压强下，应能排走 真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合 真空泵。由于 真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种 泵不能满足抽气要求，需要几种 泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华 泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子 泵，(或二极型非对称阴极溅射离子 泵)对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使 真空装置得到较好的 真空度。另外，有的 真空泵不能在大气压下工作，需要预 真空；有的 真空泵出口压强低于大气压，需要前级 泵，故都需要把 泵组合

　　罗茨 真空泵压缩气体所需的功率与压差成正比，一旦气体压差过高， 泵就可能出现过载现象，造成电机绕组烧损。解决 泵过载问题的方法主要有以下几种：　　(1)采用机械式自动调压旁通阀。　　旁通阀安装在罗茨 真空泵的出口和入口之间的旁通管路上。此阀控制 泵出入口之间的压差不超过额定值。当压差达到额定值时，阀门靠压差作用自动打开，使罗茨 真空泵出口和入口相通，使出入口之间的压差迅速降低，这时罗茨 真空泵在几乎无压差的负荷下工作。当压差低于额定值时，阀自动关闭，气体通过罗茨 真空泵内由前级 泵抽走。带有旁通溢流阀的罗茨 真空泵可以与前级 泵同时启动，使机组操作简单方便。　　(2)采用液力联轴器　　采用液力联轴器也能防止 泵的过载现象发生，使 泵可以在高压差下工作。液力联轴器安装在 泵和电动机之间。在正常工作状态下，液力联轴器由电动机端向 泵传递额定力矩。罗茨 真空泵的最大压差由液力联轴器所传递的最大转矩来决定，而液力联轴器可传递的最大转矩由其中的液体量来调节。当 泵在高压差下工作或与前级 泵同时启动时，在液体联轴器内部产生了转速差即滑动，只传递一定的力矩，使 泵减速工作

目录1、旋片式 真空泵2、滑阀式 真空泵3、定片式 真空泵4、余摆线式 真空泵5、多室旋片式 真空泵

目录1、旋片式 真空泵2、滑阀式 真空泵3、定片式 真空泵4、余摆线式 真空泵5、多室旋片式 真空泵

水蒸汽喷射 真空泵是利用水蒸汽射流抽气的 真空泵?简称喷射 泵。喷射 泵的特点是?激活快?工作压力范围宽?抽气量大?能直接排入大气?结构简单?因无运动构件而运行可靠?使用期长。这种 泵很适于抽除含尘?可凝性?腐蚀性和易燃易爆气体。但这种 泵的蒸汽和水耗量较大?利用率较低?因而适用于有廉价的副产蒸汽或可利用的余汽?废汽的场合。喷射 泵已广泛用于 真空冶炼? 真空脱气? 真空浓缩? 真空干燥? 真空蒸馏? 真空制冷和 真空运输等方面。水蒸汽喷射 真空泵基本上是由喷射器和冷凝器组合而成的。有一个喷射器的喷射 泵称为单级 泵?由两个或两个以上喷射器串联组成的喷射 泵分别称为2级 泵?3级 泵等(见表喷射 泵的性能)。图1为4级喷射 泵的外观图。

滑阀式 真空泵的抽气工作原理其实与片 泵相似，当两者 泵结构不同的时候。　　滑阀式 真空泵是主要利用滑阀机构来改变西气腔容积，因而称为华发 泵。”滑阀式 真空泵虽然是一种老 泵，但与旋片 泵等比较，它具有允许工作压力高(104pa)、抽气量大、能在恶劣环境下连续工作，经久耐用等突出特点，所以在 真空冶炼、 真空干燥、 真空浸渍、 真空蒸馏等行业得到广泛的应用。　　目前 真空行业中广泛使用的油封式 真空泵大多是中、小型的选片 泵和中、大型的滑阀式 真空泵。旋片 泵在较脏的工作条件下，旋片 泵在转子槽中卡住。尽管滑阀式 真空泵对这一缺点有一定程度的克服，但由于滑阀的质心相对回转中心的距离不是定值，虽然结构上采取了一些平衡措施，但尚不能达到完全平衡，故振动难以完成消除。尤其 泵的容量越大，振动亦更大。同时上述两种 泵，特别是滑阀 泵与其排气量相比外形尺寸显得较大。

选用 真空泵时，需要注意下列事项：1、 真空泵的工作压强应该满足 真空设备的极限 真空及工作压强要求。如： 真空镀膜要求1×10-5mmHg的 真空度，选用的 真空泵的 真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择 泵的 真空度要高于 真空设备 真空度半个到一个数量级。2、正确地选择 真空泵的工作点。每种 泵都有一定的工作压强范围，如：扩散 泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内， 泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而， 泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华 泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。3、 真空泵在其工作压强下，应能排走 真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合 真空泵。由于 真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种 泵不能满足抽气要求，需要几种 泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华 泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子 泵，（或二极型非对称阴极溅射离子 泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使 真