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微型 真空泵使用时应注意哪些事项　　使用 真空泵时应注意：1. 泵的工作环境环境温度：0～40℃， 泵不宜在室外日晒，应在清洁环境中工作。环境相对湿度：≤75%。2. 泵的工作介质 泵所抽取的气体必须无腐蚀、不含油分，但允许富含水汽;介质温度必须控制在0～50℃之间;不得让固体异物进入 泵内!3.高温型该系列产品按可承受的介质气体温度分为常温介质型和高温介质型两种。购买高温介质型产品需特别标明，如VCA5038B-24V(高温介质型)。类别允许的介质气体温度范围注意事项常温介质型0～50℃禁止介质气体中含有冰粒等固体颗粒!介质气体必须无腐蚀、不含油分，允许富含水汽。不得让固体异物进入 泵内!高温介质型0～100℃　　【使用注意事项】1.排气端必须保持通畅。不得在排气管路中布置任何阻尼元件。否则可能损坏微型 泵。2.异物不得落入气咀，否则将损坏微型 泵。3.焊接电机引线时必须迅速，否则高温会损坏电机。

1、经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以 真空泵运转时，油位到油标中心为准。　　2、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保 真空泵工作正常。　　3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新 真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。　　4、一般情况下， 真空泵工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个 真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。　　5、重新装配后应进行试运行，一般须 空运转2小时并换油二次，因清洗时在 真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作。　　6、检查 真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动 真空泵，试看 真空泵是否灵活。　　7、向轴承体内加入轴承润滑机油，观察油位应在油标的中心线处，润滑油应及时更换或补充。　　8、开动电机，当 真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口 真空泵，视其

Abstract:Inthisarticle,weintroducetheapplicationofTUTHILLvacuumbooster/dryvacuumpumppackageandvacuumbooster/liquidringvacuumpumppackageusedinchemicalprocesssuchasPTMEG,ABSandPS.ThesuccessfulinstallationreferencesshowthatTUTHILLvacuumpumppackageshavegreatadvantageintheconstruction,vacuumsystemdesignandlifecyclecost.KeyWords:ABSPTMEGPSHighVacuumDryVacuumPumpLiquidRingVacuumPumpVacuumBoosterVacuumPackageSystemEnergySaving摘要:本文介绍了美国塔海尔集团的罗茨 真空泵+干式 真空泵/液环 真空泵在PTMEG、ABS和PS等化工项目中的成功应用及其在结构、 真空系统设计和终身寿命成本方面

摘要：伯仲 真空泵采用大通道抗堵塞水力部件设计，能有效地通过直径25~70毫米固体颗粒;伯仲 真空泵适用范围与安装特性（注释：伯仲 真空泵)　　伯仲 真空泵适用范围：　　1伯仲 真空泵工厂、商业严重污水的排放;　　2住宅区、医院、宾馆的污水排水;　　3伯仲 真空泵自来水厂的排水;　　4伯仲 真空泵装城市污水处理厂排水系统;　　5伯仲 真空泵人防系统排水;市政工程、建筑工地;　　6农田浇灌;勘探、矿山配套附机。　　伯仲 真空泵安装特性　　1伯仲 真空泵采用大通道抗堵塞水力部件设计，能有效地通过直径25~70毫米固体颗粒;　　2伯仲 真空泵安装设计合理、抗堵塞、缠绕能力强、使用可靠;　　3伯仲 真空泵采用最新材料的密封，可以使 泵安全连续运行八千小时以上;　　4伯仲 真空泵结构紧凑、移动方便、安装简便，无需建造 泵房，可减少工程造价;　　5伯仲 真空泵双导轨自动安装系统，给安装、维修带来了极大的方便，工作人员可不必为此而进入污水坑;　　6伯仲 真空泵宏乔浮球开关可根据所需的水位变化，自动控制水 泵的停启，不需专人看管;　　7伯仲 真空泵对产品的漏电，漏水及过载等进行了保证控制，提高了产品的安全性与可靠性;

博生牌2XZ型旋片式 真空泵系双级高速直联结构旋片式 真空泵（以下简称 泵）。它有偏心地装在 泵腔内的转子，及转子槽内的旋片。转子带动旋转时，旋片紧贴腔壁，把进、排气口分隔开来，并使进气积腔容积周期性地扩大而吸气，排气腔容积则周期性地缩小而压缩气体，推开排气阀排气，从而获得 真空。图一为单级 泵的工作原理示意图。双级是两个单级串联而成。　　2XZ型 泵装有气镇阀，具有延长 泵油使用时间和防止 泵油混水的作用。　　2XZ型 泵具有体积小、重量轻、噪声低、起动方便等优点。此外，还有防止返油的措施（2XZ－8无）和防止油封漏油污染场地的措施

　　爪形转子干式机械 真空泵（又简称爪式 泵）在 泵壳内具有两个共轭啮合的爪形转子。与罗茨 真空泵类似，转子由一对同步高精度齿轮来带动旋转并固定相位。转子型线由六段摆线和圆弧组成，转子之间及转子与 泵壳之间并不接触，留有微小的间隙。气体的进气口和排气口均设在 泵壳的端面上，分别由两个转子端面周期性的定时开闭，具有阀的调节作用。　　爪形转子干式机械 真空泵的整机型式分为立式和卧式两种。卧式结构以英国爱德华公司开发的一级罗茨转子加上三级爪形转子的DP80型机械 真空泵为代表。罗茨转子为高 真空吸气级，爪形转子为压缩排气级，这样安排可以在低入口压力下得到大抽气速率。其极限压力可达1Pa以下。　　这种结构的 泵特点是整机重心低，各级转子与隔板之间的间隙易于调整。为了在低压下获得较大抽速， 泵的罗茨吸气级要做得比爪形排气级大50％。为了避免 泵在粗抽期间产生组间"过压"，在罗茨及中间爪型级之间设有较大的传输 空间作为压力缓冲 空间。另外还可以安装级间过压安全阀以保证工作可靠。为了有助于抽除水蒸汽，在 泵的排气级设置了气镇阀。 泵的传动型式与罗茨 真空泵相同。　　

　　旋片式 真空泵（简称旋片 泵）是一种油封式机械 真空泵。其工作压强范围为101325～1.33×10-2（Pa）属于低 真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高 真空泵或超高 真空泵的前级 泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。　　旋片 泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对 泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。　　旋片 泵是 真空技术中最基本的 真空获得设备之一。旋片 泵多为中小型 泵。旋片 泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级 泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的 真空度。　　旋片 泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分别不得低于 泵的名义抽速的95％、50％和20％。　　旋片 泵主要由 泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片 泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与 泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转

最好的办法是在罗茨 泵与液环 泵之间的联接管道间，增加一个止回阀，就是平时液环 泵抽气时阀是打开的，一旦前级有气充入就会被顶起关闭，这种阀可以在设备厂有订做。或者在液环 泵进气口增加带自充气的电磁阀，它跟液环 泵联动的，只要一停电或停 泵，就会自动关闭阀门同时往液环 泵里充气，上海阀门二厂有卖。

罗茨 真空泵压缩气体所需的功率与压差成正比，一旦气体压差过高， 泵就可能出现过载现象，造成电机绕组烧损。解决 泵过载问题的方法主要有以下几种：(1)采用机械式自动调压旁通阀。旁通阀安装在罗茨 真空泵的出口和入口之间的旁通管路上。此阀控制 泵出入口之间的压差不超罗茨 真空泵压缩气体所需的功率与压差成正比，一旦气体压差过高， 泵就可能出现过载现象，造成电机绕组烧损。解决 泵过载问题的方法主要有以下几种：(1)采用机械式自动调压旁通阀。旁通阀安装在罗茨 真空泵的出口和入口之间的旁通管路上。此阀控制 泵出入口之间的压差不超过额定值。当压差达到额定值时，阀门靠压差作用自动打开，使罗茨 真空泵出口和入口相通，使出入口之间的压差迅速降低，这时罗茨 真空泵在几乎无压差的负荷下工作。当压差低于额定值时，阀自动关闭，气体通过罗茨 真空泵内由前级 泵抽走。带有旁通溢流阀的罗茨 真空泵可以与前级 泵同时启动，使机组操作简单方便。(2)采用液力联轴器采用液力联轴器也能防止 泵的过载现象发生，使 泵可以在高压差下工作。液力联轴器安装在 泵和电动机之间。在正常工作状态下，液力联轴器由电动机端向 泵传递额定力矩。罗茨 真空泵的最大压差由液力联轴器所传递的最大

yubaixianzhenkongbeng余摆线 真空泵trochoidalvacuumpump余摆线型转子在 泵腔内作行星运动,使工作室容积周期性变化以实现抽气的 真空泵。它主要由 泵体和转子构成。图[余摆线 真空泵示意图]为余摆线 真空泵的工作原理和传动机构。转子的型线为余摆线, 泵腔型线为转子型线的外包络线。转子上的内齿轮与固定在 泵盖上的小齿轮啮合。当转动轴旋转时,偏心轮即带动内齿轮(即转子)绕小齿轮作行星运动 泵体点永远与转子表面接触,将 泵腔分隔成两个工作室a和b。转子逆时针方向旋转,与排气口相通的b室内的气体逐渐被压缩,压力逐渐升高。当压力升高到大气压力时,气体即推开排气阀排出 泵外。同时,a室内的气体压力则逐渐降低,于是被抽气体从吸气口源源不断地吸进,直至吸气口被转子表面隔离而终了。转子连续不断地旋转, 泵即连续抽气。在 泵腔内各运动件表面间用油膜密封,所以这种 泵是一种油封式机械 真空泵。余摆线 真空泵的极限压力可达1帕,在压力为10(~13帕时可达到额定抽气速率工作压力范围为10(~1帕。余摆线 真空泵由于结构复杂、制造困难,推广使用受到一定的限制。但它运转平稳,噪声小,体积和重量小(与相同抽速的滑

目录油封式 真空泵工作原理用油作密封 泵液的必要性油封式 真空泵的应用

　　无油干式机械 真空泵（又简称干式机械 泵）是指 泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去， 泵腔内无油或其他工作介质，而且 泵的极限压力与油封式 真空泵同等量级或者接近的机械 真空泵。　　目前， 真空行业使用的大多数机械 真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当 泵的工作介质，在 泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及 真空应用领域的扩大，原有的机械 真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是 泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使 真空泵内的介质严重变质，使 泵不能正常工作。　　对于普通的无油 真空系统来说，虽然可用油封式 真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械 真空泵，则可以达到理想的使用效果。　　干式机械 真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：　　1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；　　2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到

油封式 真空泵工作原理用来保持运动部件的密封、靠 泵腔容积变化而实现抽气的机械 真空泵统称油封式 真空泵。它们的工作原理都是使 泵腔工作室容积机械地增大和缩小而抽气。当 泵腔内工作室容积变得最小时，与 泵的入口管道连通，于是气体进入 泵吸入腔，一直到吸入腔容积最大并重新与进气口分开时为止。当容积油封式 真空泵工作原理用来保持运动部件的密封、靠 泵腔容积变化而实现抽气的机械 真空泵统称油封式 真空泵。它们的工作原理都是使 泵腔工作室容积机械地增大和缩小而抽气。当 泵腔内工作室容积变得最小时，与 泵的入口管道连通，于是气体进入 泵吸入腔，一直到吸入腔容积最大并重新与进气口分开时为止。当容积减少时，气体被压缩，直到气体的压力大于一个大气压，排气阀被打开，将气体排出。用油作密封 泵液的必要性当前大量使用的机械 真空泵，即使设计得最好，相向运动的零件间配合精度即使很高。在 泵达到极限 真空时，也难以阻止气体由低 真空端向入口端“突破”返流。另外，由于 泵在设计制造及装配中不可避免地存在有害 空间，这也降低 泵的极限 真空度。油封式 真空泵就是用油将相向运动的零部件和排气阀零件间密封起来；将有害 空间充填，使得高压气体反&ld

导读：经久耐用等突出特点，所以在 真空冶炼、 真空干燥、 真空浸渍、 真空蒸馏等行业得到广泛的应用。目前 真空行业中广泛使用的油封式 真空泵大多是中、小型的选片 泵和中、大型的华发 泵。旋片 泵在较脏的工作条件下，旋片 泵在转子槽中卡住。尽管华发 泵对这一缺点有一定程度的克服，但由于滑阀的质心相对回转中心的距离不是定值，虽然结构上采取了一些平衡措施，但尚不能达到完全平衡，故振动难以完成...“滑阀式 真空泵的抽气原理与片 泵相似，当两者结构不同。滑阀式 真空泵是利用滑阀机构来改变西气腔容积的，故称华发 泵。”华发 泵虽然是一种老 泵，但与旋片 泵等比较，它具有允许工作压力高（104pa）、抽气量大、能在恶劣环境下连续工作，经久耐用等突出特点，所以在 真空冶炼、 真空干燥、 真空浸渍、 真空蒸馏等行业得到广泛的应用。目前 真空行业中广泛使用的油封式 真空泵大多是中、小型的选片 泵和中、大型的华发 泵。旋片 泵在较脏的工作条件下，旋片 泵在转子槽中卡住。尽管华发 泵对这一缺点有一定程度的克服，但由于滑阀的质心相对回转中心的距离不是定值，虽然结构上采取了一些平衡措施，但尚不能达到完全平衡，故振动难以完成消

1、 真空泵的工作压强应该满足 真空设备的极限 真空及工作压强要求。如： 真空镀膜要求1×10-5mmHg的 真空度，选用的 真空泵的 真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择 泵的 真空度要高于 真空设备 真空度半个到一个数量级。　　2、正确地选择 真空泵的工作点。每种 泵都有一定的工　　1、 真空泵的工作压强应该满足 真空设备的极限 真空及工作压强要求。如： 真空镀膜要求1×10-5mmHg的 真空度，选用的 真空泵的 真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择 泵的 真空度要高于 真空设备 真空度半个到一个数量级。　　2、正确地选择 真空泵的工作点。每种 泵都有一定的工作压强范围，如：扩散 泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内， 泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而， 泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华 泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。更多知识，请登陆中国机械专家网，http://www.mechnet

1、 真空泵的工作压强应该满足 真空设备的极限 真空及工作压强要求。如: 真空镀膜要求1×10-5mmhg的 真空度,选用的 真空泵的 真空度至少要5×10-6mmhg。通常选择 泵的 真空度要高于 真空设备 真空度半个到一个数量级。2、正确地选择 真空泵的工作点。每种 泵都有一定的工作压强范围,如:扩散 泵为10-3~10-7mmhg,在这样宽压强范围内, 泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmhg。因而, 泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmhg下长期工作。又如钛升华 泵可以在10-2mmhg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmhg为好。3、 真空泵在其工作压强下,应能排走 真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合 真空泵。由于 真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种 泵不能满足抽气要求,需要几种 泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华 泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子 泵,(或二极型非对称阴极溅射离子 泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使 真空装置得到较好的 真空度。另外,有

真空泵选用时需要注意的事项1、 真空泵的工作压强应该满足 真空设备的极限 真空及工作压强要求。如： 真空镀膜要求1×10-5mmHg的 真空度，选用的 真空泵的 真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择 泵的 真空度要高于 真空设备 真空度半个到一个数量级。2、正确地选择 真空泵的工作点。每种 泵都有一定的工作压强范围，如：扩散 泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内， 泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而， 泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华 泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。3、 真空泵在其工作压强下，应能排走 真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合 真空泵。由于 真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种 泵不能满足抽气要求，需要几种 泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华 泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子 泵，（或二极型非对称阴极溅射离子 泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使 真空装置

真空泵选用时需要注意的事项1、 真空泵的工作压强应该满足 真空设备的极限 真空及工作压强要求。如： 真空镀膜要求1×10-5mmHg的 真空度，选用的 真空泵的 真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择 泵的 真空度要高于 真空设备 真空度半个到一个数量级。2、正确地选择 真空泵的工作点。每种 泵都有一定的工作压强范围，如：扩散 泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内， 泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而， 泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华 泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。3、 真空泵在其工作压强下，应能排走 真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合 真空泵。由于 真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种 泵不能满足抽气要求，需要几种 泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华 泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子 泵，（或二极型非对称阴极溅射离子 泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使 真空装置

标准编号标准中文名称标准英文名称gb/t13930-1992水环式 真空泵和水环压缩机气量测定方法methodsforthemeasurementofvolumeflowofgasofwater-ringvacuumpumpandcompressorgb/t13929-1992水环式 真空泵和水环压缩机试验方法methodsoftestingforwater-ringvacuumpumpsandcompressorsjb/t5971-1992(2005复审)单级多旋片式 真空泵jb/t7266-1994容积 真空泵性能测量方法jb/t7255-1994(2005复审)水环式 真空泵和水环压缩机jb/t8472.1-1996蒸汽流 真空泵性能测定第一部分:抽气速率(体积流率)的测定jb/t8472.2-1996蒸汽流 真空泵性能测定第二部分:临界前级压力的测定jb/t1246-1997滑阀 真空泵jb/t9808.1-1999奶用 真空泵技术条件jb/t9808.2-1999奶用 真空泵试验方法jb/t8106-1999容积 真空泵噪声测量方法jb/t8944-1999单级旋片式 真空泵jb/t8107-199

产品特点：2SK系列两级水环式 真空泵大多数是由单作用 泵串联而成的。该 泵实质上由两个单级单作用水环 泵的叶轮共用一根心轴连接而成。它的主要特点是在较低的压力下仍然具有教大的抽速，工作稳定。2SK系列两级水环式 真空泵大多数是由单作用 泵串联而成的。该 泵实质上由两个单级单作用水环 泵的叶轮共用一根心轴连接而成。它的主要特点是在较低的压力下仍然具有教大的抽速，工作稳定。2SK系列两级水环式 真空泵在吸入压力低于-0.09MPa的工况条件下可长期工作，当吸入压力高于-0.096MPa的工况条件时，可以在吸气口处加一级大气喷射 泵(即2SK系列水环大气喷射 真空机组)，以提高高 真空状态下的抽速，从而扩大水环 真空泵的使用范围。2SK系列两级水环式 真空泵已广泛应用于食品、纺织、化工、医药和冶金工业、电子等领域。如： 真空蒸发、 真空浓缩、 真空回潮、 真空浸渍、 真空干燥、及 真空冶炼等工艺。