机械泵的工作原理

常用的机械泵有定片式、旋片式、滑阀式，而最普遍采用的为旋片式真空泵(简称旋片泵)，它是一种油封式机械真空泵。旋片式机械泵既可以单独使用，也可以作为其他高真空泵或超高真空泵的前级预抽泵。它可以用来抽除真空密封容器中的干燥气体，在装有气镇阀的情况下，也可以抽除一定数量的可凝性气体。但不适用于抽除对金属具有腐蚀性的含氧高的、含有颗粒尘埃的以及对泵油起化学反应的气体。旋片式机械泵是真空技术中获得最基本真空的设备之一。
　　旋片式机械泵大多为中小型泵，它有单级泵和双级泵两种。双级泵就是从结构上将两个单级泵串联起来。单级和双级泵的区别在于双级泵可以获得较高的真空度。
　　在双级泵中，当低真空级和高真空级存在不等腔时，就需要设罝辅助排气阀。设置辅助排气阀的目的是在入口压力较高时，经高真空级压缩的气体达到排气压力时，辅助排气阀开始工作，部分气体由此排出，剩余气体由低真空级抽走。机械泵当入口压力降低时，辅助排气阀的排气量会随之减少，最终达到关闭。在整个抽气过程中，当可凝性气体的分压超过泵温及达到饱和蒸气压时，可凝性气体就会产生凝结并能混合于泵油中，随着泵的运转及泵油循环，在返回高真空端时会重新蒸发变成蒸气。将会影响泵的抽气性能，加重了泵油污染。设置气镇阀可有效地防止可凝性气体的凝结，即泵在压缩过程中，气镇阀通过气镇孔将永久性干燥气体掺入被压缩的气体中，在可凝性气体分压达到泵温时的饱和蒸气压之前，压缩气体压力就能达到排气压力，将排气阀打开，把可凝性及干燥气体同时排出。在通常情况下油封式机械泵都设置气镇阀，它的使用可参阅油封式机械真空泵技术说明书。这种泵的缺点是容易返油及喷油，为了克服这些缺点，生产厂家同时配有分子筛、油雾收集器、尘埃过滤和油过滤器等